삼성전자가 반도체 생산공정에 일본산을 대체하는 액체 고순도 불화수소를 투입했다.

업계 관계자는 Asia Times와의 전화통화에서 ”일본산 액체 불화수소를 쓰던 공정 중 일부에 대체품을 사용하기 시작했다“고 말했다.

불화수소는 반도체와 디스플레이 패널의 세정이나 회로를 제외한 불필요한 부분을 깎아내는 식각용으로 사용된다. 액체와 기체가 있는데 이번에 삼성전자가 공정에 투입한 것은 액체 불화수소다.

업계의 한 관계자는 삼성전자가 사용하기 시작한 불화수소가 한국산을 가능성이 크다고 말했다. 그는 ”수출규제 이전부터 이미 불화수소를 납품하던 한국 업체의 제품일 가능성이 크다“고 말했다.

다른 업계 관계자는 ”삼성전자와 하이닉스가 원산지를 불문하고 모든 불화수소 제품을 테스트해 왔다“며 ”불화수소에 대한 걱정이 많은데 사실 어떤 제품이든 사용할 수 있다. 다만 공정을 파인튜닝해야 하고 새로운 제품을 사용할 때 일시적으로 수율 저하 등의 문제가 발생할 수 있어 기존 제품을 계속 사용했을 뿐“이라고 말했다.

SK하이닉스도 여러 업체가 생산하는 불화수소를 테스트하고 있으나, 아직은 대체품을 투입하지 않고 있다고 업계 관계자들은 전했다.

디스플레이 업계에서도 일본산 불화수소를 대체할 한국산 불화수소가 공정에 투입될 예정이다. 업계 관계자에 따르면 엘지디스플레이가 한국산 불화수소 테스트를 마쳤고 조만간 생산공정에 투입할 예정이고 삼성디스플레이는 아직 테스트를 진행하고 있다.

디스플레이 생산에서 불화수소는 주로 세정용으로 사용되고, 소량이 식각용으로도 사용된다. 디스플레이 식각용 불화수소도 반도체 식각용과 마찬가지로 초고순도를 요구하나 사용량이 많지 않다고 업계 관계자들은 전했다.

일본 정부는 3개 반도체와 디스플레이 핵심 소재에 대한 수출 규제를 강화한 데 이어 한국을 수출 우대 백색국가에서 제외했다.

일본 정부는 특히 OLED 패널 등의 필름 재료로 쓰이는 플루오린 폴리이미드와 고순도 불화수소, 반도체 EUV 공정용 포토레지스트를 한국에 수출할 때 한국에 수출할 때 매 건당 최대 90일이 걸리는 심사와 허가를 받도록 했다.

이중 플루오린 폴리이미드는 필요한 물량이 적어 큰 문제가 되지 않았고 조만간 국산으로 대체가 가능할 것으로 알려졌다. LG 디스플레이는 일본산 플루오린 폴리이미드를 사용하지 않고, 삼성디스플레이는 갤럭시 폴드 등에 사용할 플루오린 폴리이미드를 국산으로 대체할 예정인 것으로 알려졌다.